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專利資訊
電漿蝕刻方法
聯測科技股份有限公司
申請案號
091137642
公告號
200411762
申請日期
2002-12-27
申請人
聯測科技股份有限公司
發明人
林榮德
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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