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用於遮罩植入編碼ＲＯＭ之生根的雙層編碼光罩

中芯國際集成電路製造（上海）有限公司

申請案號
091137877
公告號
200411323
申請日期
2002-12-30
申請人
中芯國際集成電路製造（上海）有限公司
發明人
黃河
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F1/14
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用於遮罩植入編碼ＲＯＭ之生根的雙層編碼光罩 - 專利資訊 | NowTo 智財通