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專利資訊
量測薄膜厚度之方法及裝置
華普索魯瓊股份有限公司
申請案號
091138099
公告號
200302341
申請日期
2002-12-31
申請人
華普索魯瓊股份有限公司
發明人
板垣洋輔
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01B15/02
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