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專利資訊
一種製造無凹陷銅內連線之方法
特許半導體製造公司
申請案號
092101928
公告號
200302551
申請日期
2003-01-29
申請人
特許半導體製造公司
發明人
林僧恭維特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/768
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