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含甲醇之以二氧化矽為基礎之化學機械拋光組合物

卡博特微電子公司

申請案號
092101953
公告號
200303909
申請日期
2003-01-29
申請人
卡博特微電子公司
發明人
羅勃　瓦卡希
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C09G1/02
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