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專利資訊
光罩之製造方法及光罩
瑞薩電子股份有限公司
申請案號
092102292
公告號
200302517
申請日期
2001-06-27
申請人
瑞薩電子股份有限公司
發明人
長谷川 昇雄
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/30
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