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藉ALD/CVD方法結合快速熱方法沈積薄層之裝置與方法

英飛凌科技股份有限公司

申請案號
092102600
公告號
200303371
申請日期
2003-02-07
申請人
英飛凌科技股份有限公司
發明人
安內特　軒格爾
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C23C16/455
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