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專利資訊
改善光阻平整度的方法與溝槽電容之下電極的製造方法
南亞科技股份有限公司
申請案號
092102762
公告號
200415699
申請日期
2003-02-11
申請人
南亞科技股份有限公司
發明人
陳錳宏
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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