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專利資訊
用於碟形物件之濕處理的方法
蘭研究公司
申請案號
092102882
公告號
200304181
申請日期
2003-02-12
申請人
蘭研究公司
發明人
亨力 賽克斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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