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專利資訊
微針頭陣列製造方法
財團法人工業技術研究院
申請案號
092103315
公告號
200416867
申請日期
2003-02-18
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
郭仕奇
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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