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專利資訊
在基板表面上形成氧化物層之方法
格羅方德半導體公司
申請案號
092103374
公告號
200304187
申請日期
2003-02-19
申請人
格羅方德半導體公司
發明人
卡斯頓 威梭瑞克
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/316
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