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專利資訊
磷化硼系半導體層之氣相成長方法
昭和電工股份有限公司
申請案號
092103678
公告號
200305204
申請日期
2003-02-21
申請人
昭和電工股份有限公司
發明人
宇田川隆
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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