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專利資訊
製程參數決定方法、以及決定製程參數與設計規則中至少一者之方法
日商鎧俠股份有限公司
申請案號
092104802
公告號
200307982
申請日期
2003-03-06
申請人
日商鎧俠股份有限公司
發明人
小谷敏也
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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