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專利資訊
半導體裝置
日立製作所股份有限公司
申請案號
092104803
公告號
200400604
申請日期
2003-03-06
申請人
日立製作所股份有限公司
發明人
片桐 光昭
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L23/02
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