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用於微影之光罩，製作光罩之方法，微影裝置，及裝置製造方法

ＡＳＭＬ荷蘭公司

申請案號
092104810
公告號
200307851
申請日期
2003-03-06
申請人
ＡＳＭＬ荷蘭公司
發明人
馬可斯　富蘭西可斯　安東尼斯　伊林斯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F1/14
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用於微影之光罩，製作光罩之方法，微影裝置，及裝置製造方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通