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專利資訊
微影系統中反應負荷的管理方法,系統及設備
ASML控股公司
申請案號
092104834
公告號
200305194
申請日期
2003-03-06
申請人
ASML控股公司
發明人
丹尼爾 蓋伯特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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