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專利資訊
晶圓處理中鈍化低介電材料的方法
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092105246
公告號
200305213
申請日期
2003-03-11
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
朵瑞爾 托瑪
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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