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專利資訊
以加快的速率加熱及冷卻晶圓之系統及方法
聖斯艾瑞公司
申請案號
092105381
公告號
200305916
申請日期
2003-03-12
申請人
聖斯艾瑞公司
發明人
偉恩 雷肯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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