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專利資訊
半導體製造裝置用保持體
住友電氣工業股份有限公司
申請案號
092105487
公告號
200403705
申請日期
2003-03-13
申請人
住友電氣工業股份有限公司
發明人
柊平啟
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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