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專利資訊
串聯蝕刻處理室電漿製程系統
應用材料股份有限公司
申請案號
092105698
公告號
200305217
申請日期
2003-03-14
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
亞歷山大派特森
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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