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用於均勻度控制之動態流體圖案控制器及其控制方法

台灣積體電路製造股份有限公司

申請案號
092105832
公告號
200419628
申請日期
2003-03-17
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
林立德
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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