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專利資訊
曝光裝置、曝光方法以及元件製造方法
尼康股份有限公司
申請案號
092106284
公告號
200305927
申請日期
2003-03-21
申請人
尼康股份有限公司
發明人
辻壽彥
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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