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專利資訊
一種光罩傳送支撐座及光罩傳送方法
力晶半導體股份有限公司
申請案號
092106407
公告號
200419643
申請日期
2003-03-21
申請人
力晶半導體股份有限公司
發明人
林柏青
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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