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利用低酸銅浴之添加劑於極高深寬比之結構中填充之製程窗

應用材料股份有限公司

申請案號
092106548
公告號
200305937
申請日期
2003-03-24
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
史林尼維斯干德可塔
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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利用低酸銅浴之添加劑於極高深寬比之結構中填充之製程窗 - 專利資訊 | NowTo 智財通