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專利資訊
利用雙極照射執行受控制之閘收縮之方法與裝置
ASML荷蘭公司
申請案號
092106630
公告號
200306615
申請日期
2003-03-25
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
敦 富 史帝芬 徐
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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