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高選擇性比率及高且均勻的電漿處理方法及系統

愛發科股份有限公司

申請案號
092106656
公告號
200305950
申請日期
2003-03-25
申請人
愛發科股份有限公司
發明人
菊池正志
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/3065
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高選擇性比率及高且均勻的電漿處理方法及系統 - 專利資訊 | NowTo 智財通