IP
NowTo 智財通
EN
首頁
/
專利資訊
基板處理裝置
日商國際電氣股份有限公司
申請案號
092107724
公告號
200307998
申請日期
2003-04-04
申請人
日商國際電氣股份有限公司
發明人
紺谷忠司
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/22
查看申請人公司資訊
本站使用 Cookie 進行流量分析,以提供更好的使用體驗。
拒絕
接受
×
基板處理裝置 - 專利資訊 | NowTo 智財通