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專利資訊
決定半導體晶圓摻雜濃度之裝置及方法
固態量測股份有限公司
申請案號
092107932
公告號
200306618
申請日期
2003-04-07
申請人
固態量測股份有限公司
發明人
威廉 郝蘭德
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/22
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