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專利資訊
低電阻金屬薄膜之製造方法
億恆科技股份公司
申請案號
092108174
公告號
200306644
申請日期
2003-04-09
申請人
億恆科技股份公司
發明人
漢斯 約阿希姆 巴爾特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/768
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