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專利資訊
防止深渠溝之頂部尺寸擴大的領型介電層製程
南亞科技股份有限公司
申請案號
092108222
公告號
200421534
申請日期
2003-04-10
申請人
南亞科技股份有限公司
發明人
許平
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/762
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