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專利資訊
半導體晶圓的製造方法
積水化學工業股份有限公司
申請案號
092108248
公告號
200402842
申請日期
2003-04-10
申請人
積水化學工業股份有限公司
發明人
福岡正輝
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/78
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