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專利資訊
蝕刻方法
PS4盧克斯科公司
申請案號
092108297
公告號
200403748
申請日期
2003-04-11
申請人
PS4盧克斯科公司
發明人
大內雅彥
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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