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減少從半導體基板背面之銅擴散污染之擴散阻障層
高級微裝置公司
申請案號
092108320
公告號
200503116
申請日期
2003-04-11
申請人
高級微裝置公司
發明人
克里斯汀 里斯托
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/44
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