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製造含奈米複合材料組成物作為微印用光阻劑之微平版印刷配備的方法,製造含此微平版印刷配備之微結構化半導體材料的方法,以及由此方法製得的微平版印刷配備
默克專利有限公司
申請案號
092108686
公告號
200305781
申請日期
2003-04-15
申請人
默克專利有限公司
發明人
瓦特 史比斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/039
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製造含奈米複合材料組成物作為微印用光阻劑之微平版印刷配備的方法,製造含此微平版印刷配備之微結構化半導體材料的方法,以及由此方法製得的微平版印刷配備 - 專利資訊 | NowTo 智財通