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專利資訊
附加偵測裝置之光罩盒架
台灣茂矽電子股份有限公司
申請案號
092108711
公告號
200421415
申請日期
2003-04-15
申請人
台灣茂矽電子股份有限公司
發明人
杜哲宏
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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