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專利資訊
處理裝置、處理方法及載置構件
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092108800
公告號
200307994
申請日期
2003-04-16
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
河南 博
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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