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專利資訊
微影製程
旺宏電子股份有限公司
申請案號
092109020
公告號
200423221
申請日期
2003-04-18
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
陳孟偉
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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