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專利資訊
旋乾設備及其旋乾機蓋板碰撞預警系統
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092109104
公告號
200423192
申請日期
2003-04-18
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
褚耀宗
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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