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專利資訊
蝕刻光罩之製程
應用材料股份有限公司
申請案號
092109149
公告號
200401946
申請日期
2003-04-18
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
馬克慕艾勒
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F1/08
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