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用於改良可靠性之銅矽化物鈍化

安華高科技通用ＩＰ（新加坡）公司

申請案號
092109732
公告號
200408055
申請日期
2003-04-25
申請人
安華高科技通用ＩＰ（新加坡）公司
發明人
羅柏特　韋恩　布拉蕭
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/768
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用於改良可靠性之銅矽化物鈍化 - 專利資訊 | NowTo 智財通