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新穎之磺醯基重氮甲烷化合物、光產酸劑、以及使用其之光阻材料及圖型之形成方法

信越化學工業股份有限公司

申請案號
092110047
公告號
200405128
申請日期
2003-04-29
申請人
信越化學工業股份有限公司
發明人
小林克浩
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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新穎之磺醯基重氮甲烷化合物、光產酸劑、以及使用其之光阻材料及圖型之形成方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通