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專利資訊
原地熱室清潔
艾斯摩美國股份有限公司
申請案號
092110202
公告號
200402771
申請日期
2003-04-30
申請人
艾斯摩美國股份有限公司
發明人
羅伯特 赫林
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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