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貫通隧道連接裝置中覆蓋層之隧道障壁層的紫外線處理技術
惠普研發公司
申請案號
092112032
公告號
200406869
申請日期
2003-05-01
申請人
惠普研發公司
發明人
馬尼許 夏瑪
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/76
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