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ＧＡＮ單晶基板，氮化物型半導體磊晶基板，氮化物型半導體裝置及其製造方法

住友電氣工業股份有限公司

申請案號
092113001
公告號
200405429
申請日期
2003-05-13
申請人
住友電氣工業股份有限公司
發明人
上野昌紀
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/08
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