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專利資訊
蝕刻微影光罩之方法
應用材料股份有限公司
申請案號
092113132
公告號
200405422
申請日期
2003-05-14
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
湯瑪士P 柯曼
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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