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專利資訊
移除氮化矽層的方法
旺宏電子股份有限公司
申請案號
092113182
公告號
200425342
申請日期
2003-05-15
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
張慶裕
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/311
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移除氮化矽層的方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通