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專利資訊
基材研磨之方法與設備
應用材料股份有限公司
申請案號
092113390
公告號
200401351
申請日期
2003-05-16
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
王焱
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/302
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