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專利資訊
基板處理裝置、基板處理方法及噴嘴
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092113505
公告號
200307985
申請日期
2003-05-19
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
宮原理
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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