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電子束光罩基板，電子束光罩毛胚，電子束光罩及其製造方法

ＨＯＹＡ股份有限公司

申請案號
092113701
公告號
200405423
申請日期
2003-05-21
申請人
ＨＯＹＡ股份有限公司
發明人
雨宮勳
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/027
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