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降低後保護層內連線製程之缺陷的方法及結構

台灣積體電路製造股份有限公司

申請案號
092113781
公告號
200426945
申請日期
2003-05-21
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
鄭錫圭
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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降低後保護層內連線製程之缺陷的方法及結構 - 專利資訊 | NowTo 智財通